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浙江舟山碳化硅加工生产设备

浙江舟山碳化硅加工生产设备

2023-08-07T11:08:49+00:00

我和我的工厂｜从一个“炉” 到一条“链”半导体制造技术

2023年6月20日浙江大学机械工程学院新大楼启用仪式晶盛楼的牌匾上下各镶嵌了一块红宝石，下面的为齿轮状，寓意着以齿轮为基、铸大国之重器、实现制造强国的愿景；上面 2022年12月19日同时，公司面向市场提供碳化硅外延设备，目前设备已实现批量销售，并获得了下游客户的一致好评。资料显示，晶盛机电于2017年开始布局石英坩埚，并在浙晶盛机电：碳化硅外延设备目前已实现批量销售腾讯新闻

晶盛机电：第三代半导体材料碳化硅的研发取得关键进展

2021年7月19日在硅材料领域，公司开发出了应用于光伏和集成电路领域两大产业的系列关键设备，包括全自动晶体生长设备（单晶生长炉、区熔硅单晶炉、多晶 2023年11月12日近年来，新能源汽车、充电桩、智能装备制造、光伏新能源等新兴应用领域成为功率半导体产业的持续增长点，SiC MOSFET 和 IGBT 等功率半导体获得了前所 2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇知乎

首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有

2020年10月21日国内宽禁带半导体设备领域，在国家科技项目的大力推动下，我国宽禁带半导体设备正在逐步缩小与国外先进设备的差距:碳化硅半导体设备方面，100150mm设备已部分实现国产化。2023年7月26日《舟山市“155”制造业产业集群建设行动方案（20232027年）》已经市政府同意，现印发给你们，请认真贯彻落实。舟山市人民政府办公室 2023年7月7日舟山舟山市人民政府办公室关于印发舟山市“155”制造业产业集群

浙江省2022年省重点建设项目公布，含这13个新材料项目

2022年5月16日工厂生产的正极材料将向中国本土电池企业和进军中国的韩国电池企业供应。光学级功能性膜材料制造项目浙江宇越新材料有限公司光学级功能性膜材料制造项目，占地面积1000亩，建设60万吨高性能光学膜聚酯新材料及12条光学级功能性膜材料生产线等。2022年3月2日 1 SiC 碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心 11 SiC 特点：第三代半导体之星，高压、高功率应用场景下性能优越半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料。核心分为以下三碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产

半导体制造之设备篇：国产、进口设备大对比知乎

2020年6月16日半导体制造之设备篇半导体需要的设备比较繁杂，在晶圆制造中，由于光刻、刻蚀、沉积等流程在芯片生产过程中需要20到50次的反复制作，是芯片前端加工过程的三大核心技术，其设备价值也最高，但 2019年9月5日第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇代半导体材料：锗、硅等单晶半导体材料，硅拥有11eV的禁带宽度以及氧化后非常稳定的特性。第二代半导体材料：砷化镓、锑化铟等化合物半导体材料，砷化镓拥有14电子伏特的禁带宽度以及比硅高五倍的电子第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇知乎

浙江晶盛机电股份有限公司投资者关系活动记录表

2023年4月4日 812 英寸半导体大硅片的各类生产加工设备，同时基于产业链延伸，开发出了应用于晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、LPCVD 设备；以及应用于功率半导体的碳化硅外延设备。目前公司已基本实现812英寸大硅片设备的全覆盖并批量销售，6英寸碳化硅外延2021年7月21日碳化硅，第三代半导体时代的中国机会 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级产业，助力我国加快向高端材料、高端设备制造业转型发展的步伐。今年发布的“‘十四五’规划和碳化硅，第三代半导体时代的中国机会国家自然科学基金

我和我的工厂｜从一个“炉” 到一条“链”半导体制造技术

2023年6月20日拥有812英寸半导体硅片从晶体生长到加工的全链条设备 2019年，国内主流光伏企业推出12英寸超大硅片，大尺寸的电池片代表着更低的产品成本，也代表着光伏面板企业能生产出更具竞争力的产品，而晶盛是唯一能够满足下游企业技术迭代更新、新产能扩张需求的设备供应商，形成了“一家独大”的 2021年12月16日针对碳化硅单晶衬底加工技术，本文综述了碳化硅单晶切片、薄化与抛光工艺段的研究现状，分析对比了切片、薄化、抛光加工工艺机理，指出了加工过程中的关键影响因素和未来发展趋势。 1、背景与意义作为半导体产业中的衬底材料，碳化硅单晶具有优碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势知乎

碳化硅半导体产品供不应求，SK集团要扩大产能近3倍腾讯网

2023年5月17日碳化硅半导体产品供不应求，SK集团要扩大产能近3倍据悉，SK集团正大幅扩大SiC产能，SK集团表示，SK powertech位于釜山的新工厂结束试运行，将正式投入批量生产，这意味着SK集团的SiC（碳化硅）半导体产能将扩大近3倍，预计2026年SK powertech销售额增长将超过5000 2021年11月1日泛半导体长晶设备龙头晶盛机电专题报告：碳化硅打开成长新曲线 1 单晶硅生长设备龙头，光伏、半导体、蓝宝石协同发展 11 光伏单晶炉市占率 2020 年稳居，销量突破 1800 台光伏单晶炉全球市占率，2020年长晶设备销量突破 1800台。公司泛半导体长晶设备龙头晶盛机电专题报告：碳化硅打开成长新

碳化硅晶片加工过程及难点知乎

2022年1月21日碳化硅晶片生产流程碳化硅晶片以高纯硅粉和高纯碳粉作为原材料，采用物理气相传输法（PVT）生长碳化硅单晶，再在衬底上使用化学气相沉积法（CVD法）等生成外延片，最后制成相关器件。 1、原料合成：将高纯硅粉和高纯碳粉按一定配比混 2022年3月22日掌握了碳化硅晶片生产的“设备研制—原料合成—晶体生长—晶体切割—晶片加工—清洗检测”全流程关键技术和工艺。2020 年 8 月 17，公司碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产

晶盛机电研究报告：晶体生长设备龙头，碳化硅培育增长新曲线

2022年4月1日晶盛机电成立于 2006 年，是国内晶体生长设备领域的龙头企业。公司立足晶体生长设备的研发、制造和销售，开拓晶体硅生长设备和加工设备在光伏和半导体领域的应用，布局蓝宝石、碳化硅新材料产业，围绕“新材料，新装备” 不断进行产业链延伸。公司 2020年8月14日所以加工起来也是较为困难的吧。前不久我们厂里接到了好几个加工碳化硅陶瓷的单子，加工起来特别难，还碎了一地都是，然后我们实在是没有办法了，就把单子给了钧杰陶瓷他们去加工了，前段时间我们老板去他们那里参观了一下机床设备，说他们的设有没有能加工碳化硅陶瓷的加工厂？知乎

浙江省人民政府办公厅关于印发浙江省加快新材料产业发展

2019年4月24日各市、縣（市、區）人民政府，省政府直屬各單位：《浙江省加快新材料產業發展行動計劃（2019－2022年）》已經省政府同意，現予印發，請結合實際認真組織實施。浙江省人民政府辦公廳 2019年4月4日（此件公開發佈）2023年3月31日其中CREE、IIVI等国际龙头企业已开始投资建设8英寸碳化硅晶片生产线。 2019年，碳化硅大厂Cree宣布将投资10亿美元扩大碳化硅产能，在美国总部北卡罗莱纳州达勒姆市建造一座采用最先进技术的自动化200mm SiC碳化硅生产工厂和一座材料超级工厂。【科普】一文带你了解碳化硅的产业链结构及应用领域知乎

舟山市百度百科

舟山市，浙江省辖地级市，长江三角洲中心区城市，位于浙江省东北部，东临东海、西靠杭州湾与宁波市、北接上海市，地势由西南向东北倾斜，南部岛大，海拔高，排列密集；北部岛小，地势低，分布稀疏；四面环海，属亚热带季风气候；截至2022年，全市下辖2区、2县，总面积222万平方千米 2021年6月11日 1 碳化硅的制备方法碳化硅产业链主要包含粉体、单晶材料、外延材料、芯片制备、功率器件、模块封装和应用等环节。 SiC 粉体：将高纯硅粉和高纯碳粉按一定配比混合，于2,000 ℃以上的高温下反应合成碳化硅颗粒，再经过破碎、清洗等加工工序，获得可以满足晶体生长要求的高纯度碳化硅第三代半导体材料碳化硅(SiC)研究进展知乎

碳化硅行业发展现状如何？一文读懂碳化硅产量、良率及进出口

2022年9月6日四、碳化硅产业现状 1、中国碳化硅产量分为黑碳化硅和绿碳化硅，2020年中国黑碳化硅产量为75万吨，绿碳化硅产量为105万吨，2021年中国黑碳化硅产量为90万吨，绿碳化硅为11万吨，产量相继上涨。说明我国碳化硅行业发展前景及需求量较为良好。 20202021年 2020年12月2日技术碳化硅产业链条核心：外延技术碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料，并在外延层上制造各类器件。碳化硅一般采用PVT方法，温度高达2000多度，且技术碳化硅产业链条核心：外延技术知乎

露笑科技“豪赌”碳化硅，工厂已建成，谁持“核心专利”

2021年12月3日 2021年11月23日晚，露笑科技披露定增计划，欲募资2940亿元加码碳化硅业务。在经历光伏电站、锂电池、蓝宝石等诸多尝试后，露笑科技此次能否转型成功？根据智慧芽全球专利数据库：“露笑 2023年5月19日公司是国内从事半导体级和碳化硅晶体生长设备制造和销售的领先企业，率先突破 12 寸半导体其他晶体生产设备：其他晶体设备主要为蓝宝石等，目前基本不占公司主要收入构成，因此我们给予公司其晶升股份研究报告：碳化硅和半导体级单晶炉领先者

舟山市人民政府办公室关于印发舟山远洋渔业高质量发展三年

2022年12月28日积极推进全市水产品精深加工自动化改造，三年内累计完成5条以上全流程自动化生产线示范项目和15个以上智能化装备示范项目改造，规上企业自动化加工设备达到50%以上。市经信局市科技局、市财政局、浙江大学海洋研究中心年9月18日国内单体较大异质结太阳能基地项目浙江舟山华润电力12GW高效异质结太阳能电池及组件项目配套标准厂房工程正式完工项目总建筑面积169万平方米包括综合大楼、组件车间、生产车间仓库、废水处理站等17个建筑全面投产后预计年产值超190亿元【聚焦】完工！国内单体较大异质结太阳能基地“三局造”澎湃

成果上新！8英寸导电型碳化硅研制获得成功

2023年5月25日浙江大学杭州国际科创中心（简称科创中心）先进半导体研究院杭州乾晶半导体联合实验室（简称联合实验室）近期经过系列技术攻关，在大尺寸碳化硅（SiC）单晶生长及其衬底制备方面取得突破，成功生长出厚度达27毫米的8英寸n型碳化硅单晶锭，并加 2022年6月23日晶盛机电深度报告：在手设备订单再破新高，半导体材料业务蓄势待发集微网报道，浙江晶盛机电股份有限公司（证券简称晶盛机电，股票代码）是全球较大的光伏单晶硅炉装备制造商，是国内领先的泛半导体材料装备和LED衬底材料制造的高新技术晶盛机电深度报告：在手设备订单再破新高，半导体材料业务

晶盛机电:迈向半导体+碳化硅设备龙头,设备+零部件布局铸造

2023年7月17日半导体硅片生产工序流程与光伏硅片相似，但不同之处在于： 1）光伏长晶炉在整线中价值量占比超过 80%，而半导体硅片设备中单晶炉、切磨抛设备、外延炉在整线中价值量占比均较高； 2）由于技术壁垒较高，半导体硅片单台价值量远高于光伏。长晶工 2023年11月20日碳化硅单晶衬底是碳化硅器件制造中最核心、最困难的环节，因此在此篇内容碳化硅SiC产业链梳理中，偏向SiC衬底内容居多，包括但不限于：产业链上下游概览（长晶炉设备、碳化硅衬底、外延片制备、器件厂、封装厂等）相关上市公司情况（营收、净干货！碳化硅SiC（衬底）产业链梳理知乎

国产碳化硅替代机遇显现第三代半导体群雄逐鹿资本入局

2021年11月5日今年10月，浙江晶盛机电股份有限公司（下称“晶盛机电”，SZ）拟定增募资不超57亿元，投资碳化硅衬底晶片等生产项目；嘉兴斯达半导体股份 2022年3月7日 2、衬底长晶完成后，就进入衬底生产环节。经过定向切割、研磨（粗研磨、精研磨）、抛光（机械抛光）、超精密抛光（化学机械抛光），得到碳化硅衬底。衬底主要起到物理支撑、导热和导电的作用碳化硅产品的应用方向和生产过程知乎

工艺详解碳化硅晶片的工艺流程知乎

2020年12月8日然而，由于SiC晶体具有高硬、高脆、耐磨性好、化学性质极其稳定的特点，这使得SiC晶片的加工变得非常困难。 SiC单晶片的超精密加工工艺，按照其加工顺序，主要经历以下几个过程：定向切割、研磨（粗研磨、精研磨）、抛光（机械抛光）和超精密抛光 2021年12月24日第三代半导体，以碳化硅为代表，其具有禁带宽度大，击穿电场高，饱和电子漂移速度高，导热率大等特点，特别是在1200V的高压环境中，有着明显的优势。 SIC晶体具有与GaN材料高匹配的晶格常数我想了解一下碳化硅的生产工艺？知乎

关于征求《浙江舟山群岛新区“十四五”科技创新发展规划

2022年7月22日为深入实施创新驱动发展战略，加快打造长三角海洋科技创新中心，根据《舟山市国民经济和社会发展第十四个五年规划和二O三五年远景目标纲要》，我局编制了《浙江舟山群岛新区“十四五”科技创新发展规划》，现征求你们意见。请于 4月16日前以书面形 2022年12月19日同时，公司面向市场提供碳化硅外延设备，目前设备已实现批量销售，并获得了下游客户的一致好评。资料显示，晶盛机电于2017年开始布局石英坩埚，并在浙江、内蒙和宁夏建立生产基地，实现了规模化生产，可提供半导体和光伏用的高品质大尺寸石英坩晶盛机电：碳化硅外延设备目前已实现批量销售腾讯新闻

给碳化硅“看病”！浙大杭州科创中心在碳化硅缺陷研究方面

2022年5月28日研究人员表示，他们的系列研究都与碳化硅中缺陷的精准定位和改良钝化息息相关，形象地说就是在给碳化硅“看病”。目前，研究团队主要聚集碳化硅中的两种微观缺陷：一种是线缺陷，一种是点缺陷。线缺陷的集中表现形式是材料内部原子错排形成的二维 2023年10月7日去年，舟山绿色石化基地重点企业——浙江石油化工有限公司（以下简称“浙石化”）产值高达2300亿元，占舟山市工业总产值将近七成。刚刚出炉的数据显示，浙石化累计加工原油12亿吨、实现工业产值超6300亿元。耀眼成绩单的背后，岱山如何实现精彩蜕小海岛、大工厂，东海之滨的这座岛为何一跃成为“世界级石化

2022年浙江省重点半导体建设项目：斯达功率芯片、中芯

2022年5月12日转芯投近日，浙江省发改委公告，根据《浙江省重点建设项目管理办法》规定，经省政府同意，2022年浙江省重点建设和预安排项目计划正式公布。其中嘉兴斯达功率芯片、中芯绍兴二期晶圆、长电封测、2条大硅片、宁波宇昌IC封测等一大批半导体相关项目入列《浙江省2022年重点建设项目》名单。2021年8月5日浙江大学先进半导体研究院宽禁代半导体材料（碳化硅、氮化镓）以碳化硅和氮化镓为代表的宽禁带半导体材料，突破原有半导体材料在大功率、高频、高速、高温环境下的性能限制，在5G通信、物联网、新能源、国防尖端武器装备等前沿领域，发挥重要作先进半导体研究院碳化硅芯片怎么制造？（科普视频转发

浙江舟山：发力海洋预制菜，竞逐万亿预制菜市场产业项目

2023年9月13日舟山地处中国东部黄金海岸线与长江黄金水道的交汇处，是中国有名的渔业生产、加工、销售基地，素有“东海鱼仓”“中国渔都”之美称，发展海洋预制菜具有得天独厚的优势。在预制菜爆火之际，舟山积极抢抓机遇，打造千亿级现代海洋渔业产业集群。2022年5月16日工厂生产的正极材料将向中国本土电池企业和进军中国的韩国电池企业供应。光学级功能性膜材料制造项目浙江宇越新材料有限公司光学级功能性膜材料制造项目，占地面积1000亩，建设60万吨高性能光学膜聚酯新材料及12条光学级功能性膜材料生产线等。浙江省2022年省重点建设项目公布，含这13个新材料项目

碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产

2022年3月2日 1 SiC 碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心 11 SiC 特点：第三代半导体之星，高压、高功率应用场景下性能优越半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料。核心分为以下三 2020年6月16日半导体制造之设备篇半导体需要的设备比较繁杂，在晶圆制造中，由于光刻、刻蚀、沉积等流程在芯片生产过程中需要20到50次的反复制作，是芯片前端加工过程的三大核心技术，其设备价值也最高，但半导体制造之设备篇：国产、进口设备大对比知乎

第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇知乎

2019年9月5日第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇代半导体材料：锗、硅等单晶半导体材料，硅拥有11eV的禁带宽度以及氧化后非常稳定的特性。第二代半导体材料：砷化镓、锑化铟等化合物半导体材料，砷化镓拥有14电子伏特的禁带宽度以及比硅高五倍的电子 2023年4月4日 812 英寸半导体大硅片的各类生产加工设备，同时基于产业链延伸，开发出了应用于晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、LPCVD 设备；以及应用于功率半导体的碳化硅外延设备。目前公司已基本实现812英寸大硅片设备的全覆盖并批量销售，6英寸碳化硅外延浙江晶盛机电股份有限公司投资者关系活动记录表

碳化硅，第三代半导体时代的中国机会国家自然科学基金

2021年7月21日碳化硅，第三代半导体时代的中国机会 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级产业，助力我国加快向高端材料、高端设备制造业转型发展的步伐。今年发布的“‘十四五’规划和 2023年6月20日拥有812英寸半导体硅片从晶体生长到加工的全链条设备 2019年，国内主流光伏企业推出12英寸超大硅片，大尺寸的电池片代表着更低的产品成本，也代表着光伏面板企业能生产出更具竞争力的产品，而晶盛是唯一能够满足下游企业技术迭代更新、新产能扩张需求的设备供应商，形成了“一家独大”的我和我的工厂｜从一个“炉” 到一条“链”半导体制造技术

碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势知乎

2021年12月16日针对碳化硅单晶衬底加工技术，本文综述了碳化硅单晶切片、薄化与抛光工艺段的研究现状，分析对比了切片、薄化、抛光加工工艺机理，指出了加工过程中的关键影响因素和未来发展趋势。 1、背景与意义作为半导体产业中的衬底材料，碳化硅单晶具有优 2023年5月17日碳化硅半导体产品供不应求，SK集团要扩大产能近3倍据悉，SK集团正大幅扩大SiC产能，SK集团表示，SK powertech位于釜山的新工厂结束试运行，将正式投入批量生产，这意味着SK集团的SiC（碳化硅）半导体产能将扩大近3倍，预计2026年SK powertech销售额增长将超过5000 碳化硅半导体产品供不应求，SK集团要扩大产能近3倍腾讯网